发明设计人

姜岩峰

公开（公告）日

20110112

申请号/专利号

CN101397121B

法律状态

有权

摘要

本发明公开了一种硅纳米线压力传感器悬臂梁及制作方法及其测量压力的方法,首先生长20nm左右的硅纳米线,进行烘干处埋后,用扫描隧道显微镜STM针尖操作将硅纳米线装配到微电子机械的悬臂梁上。在悬臂梁被释放前、后,通过测量硅纳米线传感器的电阻变化,可以确定出对应悬臂梁的应变大小,并根据所测量的电阻大小,推导出一个应力参数,该参数与对应被测量的应变大小直接成正比,可以很容易的根据硅纳米线的电阻变化对应查出待测的应力的大小。操作方便、测量精度高。